Зависимость емкости от приложенного смещения - вольт-фарадная характеристика (ВФХ) полупроводникового прибора отражает его важнейшие электрофизические характеристики, такие как концентрация легирующих примесей, толщина диэлектрика, время жизни неосновных носителей и другие характеристики. Поэтому измерение вольт-фарадных характеристик является одним из самых востребованных методов контроля полупроводниковых МДП-структур, р-n переходов, диодов Шоттки.